激光与光电子学进展, 2013, 50 (6): 061202, 网络出版: 2013-05-29
傅里叶变换轮廓术中由于坐标混淆而产生的高度测量误差的修正
Correction of Height Measurement Error Arised from Coordinate Confusion in FTP
基本信息
| DOI: | 10.3788/lop50.061202 |
| 中图分类号: | O438.2 |
| 栏目: | 仪器，测量与计量 |
| 项目基金: | 兰州交通大学青年基金(2012021)资助课题。 |
| 收稿日期: | 2013-02-26 |
| 修改稿日期: | 2013-03-02 |
| 网络出版日期: | 2013-05-29 |
| 通讯作者: | 田苗 (tian_miao@163.com) |
| 备注: | -- |
田苗, 张春林, 权伟龙. 傅里叶变换轮廓术中由于坐标混淆而产生的高度测量误差的修正[J]. 激光与光电子学进展, 2013, 50(6): 061202. Tian Miao, Zhang Chunlin, Quan Weilong. Correction of Height Measurement Error Arised from Coordinate Confusion in FTP[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2013, 50(6): 061202.
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