激光与光电子学进展, 2013, 50 (6): 061202, 网络出版: 2013-05-29
傅里叶变换轮廓术中由于坐标混淆而产生的高度测量误差的修正
Correction of Height Measurement Error Arised from Coordinate Confusion in FTP
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田苗, 张春林, 权伟龙. 傅里叶变换轮廓术中由于坐标混淆而产生的高度测量误差的修正[J]. 激光与光电子学进展, 2013, 50(6): 061202. Tian Miao, Zhang Chunlin, Quan Weilong. Correction of Height Measurement Error Arised from Coordinate Confusion in FTP[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2013, 50(6): 061202.
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