光学 精密工程, 2013, 21 (1): 108, 网络出版: 2013-03-05
大时间热响应常数投影物镜的超高精度温度控制
High precision temperature control for projection lens with long time thermal response constant
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20132101.0108 |
| 中图分类号: | TN305.7;TP273 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 国家02专项基金资助项目(No.2009ZX02005) |
| 收稿日期: | 2012-08-12 |
| 修改稿日期: | 2012-10-29 |
| 网络出版日期: | 2013-03-05 |
| 通讯作者: | 秦硕 (qinshuo666@163.com) |
| 备注: | -- |
秦硕, 巩岩, 袁文全, 杨怀江. 大时间热响应常数投影物镜的超高精度温度控制[J]. 光学 精密工程, 2013, 21(1): 108. QIN Shuo, GONG Yan, YUAN Wen-quan, YANG Huai-jiang. High precision temperature control for projection lens with long time thermal response constant[J]. Optics and Precision Engineering, 2013, 21(1): 108.
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