光学 精密工程, 2013, 21 (1): 108, 网络出版: 2013-03-05
大时间热响应常数投影物镜的超高精度温度控制
High precision temperature control for projection lens with long time thermal response constant
投影物镜 温度控制 串级控制 大时滞 模型预测 前馈补偿 projection lens temperature control cascade control long time delay model prediction feedforward compensation
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