UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针 | 光学精密工程 -- 中国光学期刊网

光学精密工程, 2007, 15 (5): 735, 网络出版: 2008-02-18

UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针

Fabrication of nickel soft contact microprobe based on UV-LIGA

明平美 ^1,2朱荻 ²胡洋洋 ²曾永彬 ²

作者单位

¹ 河南理工大学,机械与动力工程学院,河南,焦作,454000

² 南京航空航天大学,江苏,南京,210016

引用该论文

明平美, 朱荻, 胡洋洋, 曾永彬. UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针[J]. 光学精密工程, 2007, 15(5): 735.

明平美, 朱荻, 胡洋洋, 曾永彬. Fabrication of nickel soft contact microprobe based on UV-LIGA[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(5): 735.

引用列表

1、微惯性开关制作过程中界面结合强度研究光学精密工程, 2023, 31 (10): 1464

2、三维微细电解铣削加工的实时控制与检测光学精密工程, 2010, 18 (6): 1309

3、单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成光学精密工程, 2010, 18 (5): 1204

4、 UV-LIGA制作超高微细阵列电极技术光学精密工程, 2010, 18 (3): 670

明平美, 朱荻, 胡洋洋, 曾永彬. UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针[J]. 光学精密工程, 2007, 15(5): 735. 明平美, 朱荻, 胡洋洋, 曾永彬. Fabrication of nickel soft contact microprobe based on UV-LIGA[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(5): 735.

论文摘要 Full Text 图 & 表补充材料基本信息知识挖掘 Metrics PDF全文参考文献 & 引文

本文已被 4 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网

引用该论文： TXT | EndNote

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务，点击此处了解我们的隐私策略。如您需继续使用本网站，请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。

您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!

快速查询高级查询

最近搜索：

大家在搜：人工智能图像处理光子

热门搜索：机器视觉光通信光纤传感器