UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针

明平美; 朱荻; 胡洋洋; 曾永彬

光学精密工程, 2007, 15 (5): 735, 网络出版: 2008-02-18

UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针

Fabrication of nickel soft contact microprobe based on UV-LIGA

明平美 ^1,2朱荻 ²胡洋洋 ²曾永彬 ²

作者单位

¹ 河南理工大学,机械与动力工程学院,河南,焦作,454000

² 南京航空航天大学,江苏,南京,210016

补充材料

明平美, 朱荻, 胡洋洋, 曾永彬. UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针[J]. 光学精密工程, 2007, 15(5): 735. 明平美, 朱荻, 胡洋洋, 曾永彬. Fabrication of nickel soft contact microprobe based on UV-LIGA[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(5): 735.