光学 精密工程, 2007, 15 (5): 735, 网络出版: 2008-02-18
UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针
Fabrication of nickel soft contact microprobe based on UV-LIGA
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TN305.7 |
栏目: | 微纳技术与精密机械 |
项目基金: | 江苏省自然科学基金资助项目(No.2004214) |
收稿日期: | 2006-12-11 |
修改稿日期: | 2007-01-07 |
网络出版日期: | 2008-02-18 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
明平美, 朱荻, 胡洋洋, 曾永彬. UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(5): 735. 明平美, 朱荻, 胡洋洋, 曾永彬. Fabrication of nickel soft contact microprobe based on UV-LIGA[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(5): 735.