光学学报, 2018, 38 (11): 1112006, 网络出版: 2019-05-09 复制并引用该论文  本文已被引 2 次  被引通知

图 & 表

图 1. 偏折术实验装置的原理图

Fig. 1. Schematic of experimental setup of deflectometry

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图 2. PMD模型的光路图

Fig. 2. Beam path diagram of PMD model

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图 3. PMD模型的重构面形误差

Fig. 3. Reconstructed surface errors of PMD model

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图 4. PMD模型中被测面形误差与几何结构误差的关系。误差面形PV值随(a) Δx, (b) Δy和(c) Δz的变化

Fig. 4. Relationship between tested surface errors and geometric calibration errors in PMD model. PV values of error surfaces change with (a) Δx, (b) Δy and (c) Δz

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图 5. PMD模型中倾斜面形测量误差与几何结构标定误差的关系。(a) x方向的; (b) y方向

Fig. 5. Relationship between tilt surface errors and geometric calibration errors in PMD model. (a) In x direction; (b) in y direction

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图 6. PMD模型中离焦面形测量误差与几何结构标定误差的关系。(a) ΔzC(ΔzM2C),ΔzS(ΔzM2S),ΔzM; (b) ΔzM

Fig. 6. Relationship between defocus surface errors and geometric calibration errors in PMD model. (a) ΔzC(ΔzM2C),ΔzS(ΔzM2S),ΔzM; (b) ΔzM

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图 7. 被测面的干涉仪测量结果。(a) Zerrnike系数; (b)波前像差

Fig. 7. Measured results of the tested surface using interferometer. (a) Zernike coefficients; (b) wavefront aberration

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图 8. 被测面的PMD测量结果

Fig. 8. Measured results of the tested surface using PMD system

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图 9. 面形测量结果随被测面z坐标误差的变化情况。 (a) 测量面形的PV值;(b) 测量面形的离焦系数

Fig. 9. Measured surfaces change with z-coordinate translation of mirror. (a) PV of tested surface; (b) defocus coefficient of tested surface

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李萌阳, 袁晓东, 曹庭分, 刘长春, 张尽力, 熊召, 陈海平, 全旭松, 易聪之. 几何结构标定误差对偏折术的影响[J]. 光学学报, 2018, 38(11): 1112006. Mengyang Li, Xiaodong Yuan, Tingfen Cao, Changchun Liu, Jinli Zhang, Zhao Xiong, Haiping Chen, Xusong Quan, Congzhi Yi. Effect of Geometric Calibration Errors on Deflectometry[J]. Acta Optica Sinica, 2018, 38(11): 1112006.