光学技术, 2013, 39 (1): 33, 网络出版: 2013-01-24
全自动在线六维纳米测量系统
Automatic 6-dimensional nano-measuring instrument
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TH741 |
| 栏目: | 光学测量 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(51075280)、 上海市教委重点学科第五期(J50505) |
| 收稿日期: | 2012-07-09 |
| 修改稿日期: | 2012-10-25 |
| 网络出版日期: | 2013-01-24 |
| 通讯作者: | 胡凯 (hukai870318@163.com) |
| 备注: | -- |
胡凯, 侯文玫, 句爱松, 董洪波, 杨召雷. 全自动在线六维纳米测量系统[J]. 光学技术, 2013, 39(1): 33. HU Kai, HOU Wenmei, JU Aisong, DONG Hongbo, YANG Zhaolei. Automatic 6-dimensional nano-measuring instrument[J]. Optical Technique, 2013, 39(1): 33.
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