光学技术, 2013, 39 (1): 33, 网络出版: 2013-01-24
全自动在线六维纳米测量系统
Automatic 6-dimensional nano-measuring instrument
图 & 表
胡凯, 侯文玫, 句爱松, 董洪波, 杨召雷. 全自动在线六维纳米测量系统[J]. 光学技术, 2013, 39(1): 33. HU Kai, HOU Wenmei, JU Aisong, DONG Hongbo, YANG Zhaolei. Automatic 6-dimensional nano-measuring instrument[J]. Optical Technique, 2013, 39(1): 33.