红外与激光工程, 2016, 45 (5): 0520002, 网络出版: 2016-06-12  

不同退火处理的台面型In0.83Ga0.17As pin光电二极管暗电流分析

Dark current analysis of mesa type In0.83Ga0.17As p-i-n photodiodes with different annealing treatment
李平 1,2,3李淘 1,2邓双燕 1,2李雪 1,2邵秀梅 1,2唐恒敬 1,2龚海梅 1,2
作者单位
1 中国科学院上海技术物理研究所 传感技术国家重点实验室, 上海200083
2 中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室, 上海200083
3 中国科学院大学, 北京100049
基本信息
DOI: 10.3788/irla201645.0520002
中图分类号: TN215
栏目: 光电器件与微系统
项目基金: 国家973项目(2012CB619200)、国家自然科学基金(61205105, 61007067, 61475179)
收稿日期: 2015-10-12
修改稿日期: --
网络出版日期: 2016-06-12
通讯作者:
备注: --

李平, 李淘, 邓双燕, 李雪, 邵秀梅, 唐恒敬, 龚海梅. 不同退火处理的台面型In0.83Ga0.17As pin光电二极管暗电流分析[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(5): 0520002. Li Ping, Li Tao, Deng Shuangyan, Li Xue, Shao Xiumei, Tang Hengjing, Gong Haimei. Dark current analysis of mesa type In0.83Ga0.17As p-i-n photodiodes with different annealing treatment[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(5): 0520002.

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