中国激光, 2017, 44 (6): 0604007, 网络出版: 2017-06-08   

基于微机电系统的法布里珀罗可调光滤波器

Tunable Fabry-Perot Optical Filter Based on Micro-Electro Mechanical System
作者单位
1 上海大学理学院, 上海 200000
2 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室, 上海 200000
基本信息
DOI: 10.3788/cjl201744.0604007
中图分类号: TP212.1
栏目: 测量与计量
项目基金: 国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ250002)
收稿日期: 2016-12-29
修改稿日期: 2017-02-28
网络出版日期: 2017-06-08
通讯作者: 郭智慧 (zhihuiguo@outlook.com)
备注: --

郭智慧, 李拥华, 杨恒, 钟少龙. 基于微机电系统的法布里珀罗可调光滤波器[J]. 中国激光, 2017, 44(6): 0604007. Guo Zhihui, Li Yonghua, Yang Heng, Zhong Shaolong. Tunable Fabry-Perot Optical Filter Based on Micro-Electro Mechanical System[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(6): 0604007.

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