中国激光, 2017, 44 (6): 0604007, 网络出版: 2017-06-08
基于微机电系统的法布里珀罗可调光滤波器
Tunable Fabry-Perot Optical Filter Based on Micro-Electro Mechanical System
基本信息
DOI: | 10.3788/cjl201744.0604007 |
中图分类号: | TP212.1 |
栏目: | 测量与计量 |
项目基金: | 国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ250002) |
收稿日期: | 2016-12-29 |
修改稿日期: | 2017-02-28 |
网络出版日期: | 2017-06-08 |
通讯作者: | 郭智慧 (zhihuiguo@outlook.com) |
备注: | -- |
郭智慧, 李拥华, 杨恒, 钟少龙. 基于微机电系统的法布里珀罗可调光滤波器[J]. 中国激光, 2017, 44(6): 0604007. Guo Zhihui, Li Yonghua, Yang Heng, Zhong Shaolong. Tunable Fabry-Perot Optical Filter Based on Micro-Electro Mechanical System[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(6): 0604007.