红外与激光工程, 2015, 44 (10): 3055, 网络出版: 2016-01-26
Al膜的微孔阵列湿法腐蚀技术研究
Al micropore array wet etching
引用该论文
韩军, 范琳琳, 刘欢. Al膜的微孔阵列湿法腐蚀技术研究[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(10): 3055.
Han Jun, Fan Linlin, Liu Huan. Al micropore array wet etching[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(10): 3055.
韩军, 范琳琳, 刘欢. Al膜的微孔阵列湿法腐蚀技术研究[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(10): 3055. Han Jun, Fan Linlin, Liu Huan. Al micropore array wet etching[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(10): 3055.