红外与激光工程, 2015, 44 (10): 3055, 网络出版: 2016-01-26
Al膜的微孔阵列湿法腐蚀技术研究
Al micropore array wet etching
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TB756 |
栏目: | 微纳光学 |
项目基金: | 总装备部预研基金、 微光夜视技术重点实验室基金(J20130203) |
收稿日期: | 2015-02-13 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2016-01-26 |
通讯作者: | 范琳琳 (aizhulin1314@126.com) |
备注: | -- |
韩军, 范琳琳, 刘欢. Al膜的微孔阵列湿法腐蚀技术研究[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(10): 3055. Han Jun, Fan Linlin, Liu Huan. Al micropore array wet etching[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(10): 3055.