Al膜的微孔阵列湿法腐蚀技术研究

韩军; 范琳琳; 刘欢

红外与激光工程, 2015, 44 (10): 3055, 网络出版: 2016-01-26

Al膜的微孔阵列湿法腐蚀技术研究

Al micropore array wet etching

韩军 ¹范琳琳 ^1,2,*刘欢 ^1,3

作者单位

¹ 西安工业大学光电工程学院，陕西西安 710021

² 西安应用光学研究所，陕西西安 710065

³ 微光夜视技术重点实验室，陕西西安 710065

补充材料

韩军, 范琳琳, 刘欢. Al膜的微孔阵列湿法腐蚀技术研究[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(10): 3055. Han Jun, Fan Linlin, Liu Huan. Al micropore array wet etching[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(10): 3055.

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