光子学报, 2018, 47 (12): 1214003, 网络出版: 2019-01-10
离子束刻蚀辅助飞秒激光加工制备碳化硅微光学元件
Ion Beam Etching Assisted Femtosecond Laser Machining to Manufacture Silicon Carbide Micro-optical Components
基本信息
| DOI: | 10.3788/gzxb20184712.1214003 |
| 中图分类号: | TN249 |
| 栏目: | |
| 项目基金: | 国家重点研发计划(No. 2017YFB1104600), 国家自然科学基金(Nos. 91423102, 61590930, 61435005)和中国博士后科学基金(No. 2018M631456)资助 |
| 收稿日期: | 2018-07-16 |
| 修改稿日期: | 2018-10-12 |
| 网络出版日期: | 2019-01-10 |
| 通讯作者: | 于磊 (yulei32205@163.com) |
| 备注: | -- |
于磊, 杨双宁, 刘学青, 李德辉. 离子束刻蚀辅助飞秒激光加工制备碳化硅微光学元件[J]. 光子学报, 2018, 47(12): 1214003. YU Lei, YANG Shuang-ning, LIU Xue-qing, LI De-hui. Ion Beam Etching Assisted Femtosecond Laser Machining to Manufacture Silicon Carbide Micro-optical Components[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2018, 47(12): 1214003.
PDF全文
