光子学报, 2018, 47 (12): 1214003, 网络出版: 2019-01-10
离子束刻蚀辅助飞秒激光加工制备碳化硅微光学元件
Ion Beam Etching Assisted Femtosecond Laser Machining to Manufacture Silicon Carbide Micro-optical Components
超快激光 半导体加工技术 离子束刻蚀 碳化硅 微光学元件 Ultrafast lasers Semiconductor device manufacture Ion beams etching Silicon carbide Micro-optical components
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