光学 精密工程, 2012, 20 (2): 344, 网络出版: 2012-03-06
静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制
Surface shape control of electrostatic stretching membrane mirror by multi-electrodes
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20122002.0344 |
| 中图分类号: | TH751;TH703 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2007AA12Z113) |
| 收稿日期: | 2011-05-20 |
| 修改稿日期: | 2011-07-28 |
| 网络出版日期: | 2012-03-06 |
| 通讯作者: | 张鹏 (zpjg1021.student@sina.com) |
| 备注: | -- |
张鹏, 金光, 张元, 钟兴. 静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制[J]. 光学 精密工程, 2012, 20(2): 344. ZHANG Peng, JIN Guang, ZHANG Yuan, ZHONG Xing. Surface shape control of electrostatic stretching membrane mirror by multi-electrodes[J]. Optics and Precision Engineering, 2012, 20(2): 344.
PDF全文
