光学 精密工程, 2012, 20 (2): 344, 网络出版: 2012-03-06
静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制
Surface shape control of electrostatic stretching membrane mirror by multi-electrodes
静电拉伸薄膜 薄膜反射镜 成形控制 反演求解 electrostatic stretching membrane membrane mirror surface shape control inverse approach
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