光电工程, 2006, 33 (3): 101, 网络出版: 2007-11-14  

激光剥离Al2O3/GaN中GaN材料温度场的模拟

Temperature field simulation of GaN material during Al2O3/GaN laser lift-off
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北京工业大学,电子信息与控制工程学院,北京市光电子技术实验室,北京,100022
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王婷, 郭霞, 刘斌, 沈光地. 激光剥离Al2O3/GaN中GaN材料温度场的模拟[J]. 光电工程, 2006, 33(3): 101. 王婷, 郭霞, 刘斌, 沈光地. Temperature field simulation of GaN material during Al2O3/GaN laser lift-off[J]. Opto-Electronic Engineering, 2006, 33(3): 101.

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