光学学报, 2008, 28 (9): 1730, 网络出版: 2008-09-09
离焦激光直写的线宽稳定方法
Research of Linewidth Stabilizing Method During Defocusing Laser Direct Writing
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TN249;TN305.7 |
| 栏目: | 集成光学 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(50675052)资助课题。 |
| 收稿日期: | 2007-10-26 |
| 修改稿日期: | 2008-02-18 |
| 网络出版日期: | 2008-09-09 |
| 通讯作者: | 金占雷 (jinzhanlei@hit.edu.cn) |
| 备注: | -- |
金占雷, 谭久彬, 张山, 王雷. 离焦激光直写的线宽稳定方法[J]. 光学学报, 2008, 28(9): 1730. Jin Zhanlei, Tan Jiubin, Zhang Shan, Wang Lei. Research of Linewidth Stabilizing Method During Defocusing Laser Direct Writing[J]. Acta Optica Sinica, 2008, 28(9): 1730.
PDF全文
