光学学报, 2008, 28 (9): 1730, 网络出版: 2008-09-09
离焦激光直写的线宽稳定方法
Research of Linewidth Stabilizing Method During Defocusing Laser Direct Writing
集成光学 线宽稳定性 光功率控制 离焦激光直写 衍射光学元件 integrated optics linewidth stability light power control defocusing laser direct writing diffractive optical element
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