红外与激光工程, 2018, 47 (6): 0618002, 网络出版: 2018-09-08
浸没式光刻照明系统的照明模式变换器
Light mode converter in immersion lithography lighting system
基本信息
DOI: | 10.3788/irla201847.0618002 |
中图分类号: | O436 |
栏目: | 光学设计及仿真 |
项目基金: | 国家自然科学基金(91338116, 11474037)、 吉林省教育厅科学研究项目(JJKH20181363KJ)、 2018年度校级项目支持(可预置强度关联成像理论及实验研究) |
收稿日期: | 2018-01-10 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2018-09-08 |
通讯作者: | 李美萱 (limx@jlenu.edu.cn) |
备注: | -- |
李美萱, 董连和. 浸没式光刻照明系统的照明模式变换器[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(6): 0618002. Li Meixuan, Dong Lianhe. Light mode converter in immersion lithography lighting system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(6): 0618002.