浸没式光刻照明系统的照明模式变换器

李美萱; 董连和

doi:doi:10.3788/irla201847.0618002

红外与激光工程, 2018, 47 (6): 0618002, 网络出版: 2018-09-08

浸没式光刻照明系统的照明模式变换器

Light mode converter in immersion lithography lighting system

李美萱 ^1,2,3,*董连和 ³

作者单位

¹ 吉林工程技术师范学院量子信息技术交叉学科研究院, 吉林长春 130052

² 吉林省量子信息技术工程实验室, 吉林长春 130052

³ 长春理工大学,吉林长春 130000

图 & 表

李美萱, 董连和. 浸没式光刻照明系统的照明模式变换器[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(6): 0618002. Li Meixuan, Dong Lianhe. Light mode converter in immersion lithography lighting system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(6): 0618002.