红外与激光工程, 2018, 47 (6): 0618002, 网络出版: 2018-09-08
浸没式光刻照明系统的照明模式变换器
Light mode converter in immersion lithography lighting system
浸没式光刻照明系统 照明模式变换 衍射光学元件 光瞳整形 immersion lithography lighting system illumination mode transformation diffractive
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