1 中国科学院光电技术研究所, 成都 610209
2 中国科学院大学, 北京 100049
光刻投影物镜中透物镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一,而支撑变形是影响面形精度的一个非常重要的因素。为提高大口径透镜的光学检测复现性,设计了一种整体式柔性支撑结构,分析了重力作用下弹片数量和各尺寸参数等对透镜面形精度及复现精度的影响。分析结果表明: 增加弹片数量、减小支撑距离透镜中心的距离及增大弹片厚度可使透镜的变形减小; 可以通过缩短弹片长度、增加弹片厚度及弹片数量来提高复现精度。根据各影响因素与复现性的关系分析得到的优化参数下的复现精度为0.21nm rms,能够满足深紫外光刻投影物镜中透镜的高精度面形要求。
支撑变形 支撑结构 面形精度 复现性分析 support deformation supporting structure surface shape accuracy reproducibility analysis
1 中航工业西安航空计算技术研究所，西安 710068
2 西安电子科技大学，西安 710071
以民用飞机电源系统为背景，针对电源系统控制器的功能和工作模式，建立了该产品的通用自动测试系统（GPATS），阐述了GPATS平台软件的选择依据，并对GPATS的设计方案和具体的实现方法进行了分析和描述。
电源系统控制器 通用自动测试系统 测试程序集 民用飞机 power-supply control equipment General-Purpose Automatic Test System (GPATS) test program set civil aircraft
中航工业西安航空计算技术研究所，西安 710068
以机载电源系统为背景，针对发电机控制器(GCU)的功能特点和组成，建立了GCU的故障诊断字典。利用故障树分析结果和故障诊断字典规范了GCU故障判定的工作模型，以确定其故障检测点,降低诊断的复杂性,提高故障诊断效率。
机载电源系统 发电机控制器 故障诊断字典 故障树分析 airborne power supply system Generator Control Unit (GCU) fault diagnosis dictionary Fault Tree Analysis (FTA)
分析ARINC763标准以及ARINC834标准，针对当前民用机载网络安全互联过程中的灵活性和扩展性需求，设计了机载网络服务系统航电接口应用软件。定义航电接口数据通信协议，对ARINC834中的协议模型进行集成及扩展，增加了应用认证和应用监控能力；采用应用认证授权和数据操作控制结合的方法，实现动态应用访问控制，减少系统复杂度，增加系统灵活性。该软件已经在某民机项目中安装使用，可以实现航电核心域网络与网络服务系统内部网络之间安全的数据通信。
机载网络 服务系统 数据服务 航电接口 数据通信 动态访问控制 onboard network service system data service avionics interface data communication dynamic access control
中国航空工业集团公司西安航空计算技术研究所, 西安 710068
为了增强FlexRay网络在CCAR23部飞机航空网络应用中的安全性,分析了FlexRay协议的传输特性,定义了心跳消息结构,提出了在静态段中进行状态声明、在动态段中进行成员协商以及在网络空闲时间进行成员状态决策的成员算法的设计与实现.该算法以进程为单位进行管理,可以在协议层实现进程的重新集成,且对于存在n个故障的系统,只要系统中存在2n+1个过程且n+1个过程运行正常,该算法就能够在一个周期内识别全部故障.经应用验证,该算法能够在一个通信周期中实现成员协议要求的确认性、一致性以及自我诊断性.
航空电子系统 FlexRay协议 成员协议 容错 CCAR23 CCAR23 avionic system FlexRay protocol membership protocol fault-tolerance
