长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
为满足现代军用综合性光学仪器一机多用的要求，研制了500～1200 nm波段宽带减反膜。采用混合H4、SiO2和MgF2三种材料制备宽带减反膜。通过实验分析了误差产生的原因，并借助膜系设计软件，对结果采用变尺度法进行模拟优化，最后在制备过程中通过改变每层的修正系数，解决了厚度误差对光谱特性的影响，最终用国产真空镀膜机制备了超宽带减反膜，在500～1200 nm波段反射率平均小于0.5%。
薄膜 宽带减反膜 光学常数 修正系数
1 长春理工大学光电工程学院， 吉林 长春 130022
2 上海大学理学院， 上海 200444
为满足紫外告警系统成像需要，实现对太阳光谱盲区光子图像接受检测的作用，研制了一种紫外成像滤光片。采用电子束(EB)加热蒸发和离子辅助沉积(IAD)的方法，在熔融石英(JGS1)基底上镀氧化铪、氟化镁、紫外二氧化硅等薄膜材料，并借助石英晶体振荡法和光电极值法相结合的方式监控膜层厚度，镀制了满足入射角0°~25°范围内240~280 nm波段透射、300~620 nm波段抑制的紫外滤光片。通过对膜系优化设计和工艺参数的研究，解决了薄膜脱膜、膜厚的精确控制、材料的吸收等问题。制备的滤光片经膜层性能测试，基本满足告警系统的要求。
薄膜 紫外干涉截止滤光片 离子辅助沉积 紫外告警 中国激光
2011, 38(12): 1207002
