国防科学技术大学 光电科学与工程学院 光电工程系，长沙 410073
研究了散射测量在激光陀螺用石英基片表面检测中的应用.比较发现，收集物镜比积分球更有利于体散射的消除，更适用于直接检测超光滑石英基片表面的散射测试系统.用ZEMAX设计了散射光收集物镜，使其数值孔径达到了0.4，并完全消除了轴上距离大于1.5 mm的散射点的体散射；为了消除光电倍增管输出本身随时间长漂的问题，设计了特定的散射光收集系统的结构，将散射光和反射光分时打在同一个光电倍增管上.分析发现，这种设置能有效消除光电倍增管输出随时间趋势性漂移的问题，增强了系统长时间的稳定性，有效保障了其工程实用性.
表面粗糙度 表面散射 体散射 石英基片 激光陀螺 Surface roughness Surface scattering Volume scattering Fused silica substrate Laser-gyro
