作者单位
摘要
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春 130033
分析了常规透射镜组检测方法的缺点,在添加简单的辅助元件情况下,提出了一种新的检测透射镜组装调完成后整体组件的方法,从而解决了大口径光学系统应用中透射镜组的光学质量检测问题.分别以两个实际光学系统为例,给出了透射镜组的设计和准确度要求.随后利用该方法对实际系统中装调完成后的透射镜组进行检测,并将分析结果和实际检测结果进行比较,得出该方法的检测准确度优于0.01λ,证明了该检测方法的可靠性和正确性.最后用检测结果指导装调,使得透射镜组的最终装调完成后的质量满足了要求.
透射镜组 光学检测 非球面 泽尼克多项式 Lens group Optic test Aspheric Zernike polynomial 
光子学报
2011, 40(3): 419
作者单位
摘要
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,长春 130033
补偿器法是测量非球面反射镜面形误差的一种重要的方法。在检测过程中,各个元件之间的调整会带来初级像差,这是影响最终检测结果的一个关键因素。本文以一个1 m 口径的非球面反射镜为例,首先详述了其面形误差检测的设计和测量过程,然后分析了各个元件的调整会带来相应的初级像差,随后给出了实际检测过程中出现的误区,并对其进行了分析和讨论,结合实际的检测过程得出了相应的判断和消除的方法。最后,分别对300 mm、700 mm 口径非球面反射镜与本文1 m 非球面镜的检测结果进行了比较,证明了该误区会使最后的检测数据发生变化,从而使最后的检测结果失真,并验证了先判别后消除方法的可靠性。最后利用正确的方法,检测得到1 m口径非球面被测镜的RMS 面形误差为0.038λ,满足指标要求。
光学检测 补偿器 非球面 Zernike 多项式 optic test compensator aspheric Zernike polynomial 
光电工程
2010, 37(10): 116

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