作者单位
摘要
1 成都精密光学工程研究中心, 成都 610041
2 南京理工大学 电子工程与光电信息技术学院, 南京 210094
为了充分掌握磁流变抛光中磁场强度、浸入深度、抛光轮转速、磁流变液水分含量等工艺参数对抛光结果的影响规律,以期提高元件的面形精度和表面的质量,在研究了磁流变抛光材料的去除数学模型的基础上,结合实验室的PKC100P1型抛光设备,对上述的关键工艺参数分别进行了研究,设置了一系列的实验参数,进行了详细的实验探索,分析了单因素条件下材料的去除量以及元件表面质量同关键工艺参数的内在联系,得出了相应影响关系曲线。从关系曲线表明:工艺参数对抛光斑的去除效率以及被加工元件表面质量存在着明显的影响规律,掌握这些影响关系就能用于分析和优化磁流变加工的结果,为高精度光学表面的加工提供可靠的保障,同时实验的结果也很好地验证了磁流变抛光材料去除理论的正确性。
精密加工 磁流变抛光 去除函数 磁流变液 Preston方程 precision machining magnetorheological finishing removal function MRF fluid Preston function 
强激光与粒子束
2013, 25(9): 2281
作者单位
摘要
1 哈尔滨工业大学空间光学工程研究中心, 黑龙江 哈尔滨 150001
2 英国国家超精密光学表面实验室, UK LL17 0JD
为得到空间光学元件超光滑表面,对超精密气囊抛光方法的去除特性进行了理论和实验研究。以Preston方程为基础,应用运动学原理建立了气囊抛光“进动”运动的材料去除模型,针对抛光气囊工具的物理特性,按照Hertz接触理论对去除模型进行了修正; 利用计算机仿真的方法,分析了几个主要工艺参数对“进动”抛光运动去除特性的影响规律,并在超精密光学数控抛光机上进行了正交实验; 仿真和实验结果吻合较好,总结得到4点气囊抛光方法中重要的结论,给出了“进动”角与压缩量的取值范围,以此得到了面型精度RMS值为0.024 λ(λ=0.6328 μm)的超光滑表面,为开展光学元件气囊抛光工艺研究提供依据。
空间光学 气囊抛光 去除特性 Preston方程 Hertz接触理论 
光学学报
2009, 29(3): 811

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