1 北京理工大学 光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室, 北京 100081
2 中国科学院 光电技术研究所, 成都 610209
根据高分辨物镜各个光学元件的实测数据, 应用轴向补偿和旋转补偿法, 在仿真精密装调过程中得到了物镜轴向补偿器的最优值和各元件的最佳旋转角度。仿真结果表明, 在97.7%的置信区间内, 物镜各视场波像差RMS值从补偿前的0.087λ(λ=632.8 nm)减小到了补偿后的0.040 λ。依据获得的参数对物镜进行了装调实验, 结果表明, 激光干涉仪测得的物镜各视场波像差RMS值介于0.050～0.082λ之间, 基本达到了衍射极限的分辨率要求, 验证了像质补偿方法的有效性。
高分辨成像 精密装调 轴向补偿 旋转补偿 high resolution imaging fine assembly axial compensation clocking compensation
