1 北京理工大学 光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室, 北京 100081
2 中国科学院 光电技术研究所, 成都 610209
根据高分辨物镜各个光学元件的实测数据, 应用轴向补偿和旋转补偿法, 在仿真精密装调过程中得到了物镜轴向补偿器的最优值和各元件的最佳旋转角度。仿真结果表明, 在97.7%的置信区间内, 物镜各视场波像差RMS值从补偿前的0.087λ(λ=632.8 nm)减小到了补偿后的0.040 λ。依据获得的参数对物镜进行了装调实验, 结果表明, 激光干涉仪测得的物镜各视场波像差RMS值介于0.050～0.082λ之间, 基本达到了衍射极限的分辨率要求, 验证了像质补偿方法的有效性。
高分辨成像 精密装调 轴向补偿 旋转补偿 high resolution imaging fine assembly axial compensation clocking compensation
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，长春 130033；中国科学院研究生院，北京 100039
2 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，长春 130033
针对高分辨力CCD 探测器(1 k×1 k，6.3 μm×6.3 μm)，确定了一个可见光波段连续变焦光学系统，传递函数(MTF)接近衍射极限。本文通过公差分析可知前固定组和变倍组的公差灵敏度非常高，对加工和装调提出了苛刻的要求。该方法根据设置前固定组轴向移动补偿和焦面轴向补偿来降低前固定组的公差灵敏度和提高系统成像质量，并分析了前固定组轴向补偿机械结构的可行性。通过分析公差灵敏度产生的原因，提出对敏感表面上的入射角进行合理优化设计以有效降低公差灵敏度。实验结果表明，在不增加成本的前提下降低加工和装调难度，提高系统整体性能。
变焦距系统 高分辨力 公差灵敏度 角度优化 轴向补偿 zoom system high resolution tolerance sensitivity incident angle optimization axis displacement compensation
