1 湖北工业大学 1. 现代制造质量工程湖北省重点实验室
2 2. 机械工程学院, 武汉 430068
建立了光模块三维模型, 通过有限元仿真分析了器件工作时的温度分布特性。结果表明, 屏蔽罩的存在阻挡了芯片换热, 影响了芯片的散热效率; 利用红外摄像机观测芯片的工作温度, 并与仿真结果进行对比, 验证了仿真结果的准确性。根据分析结论, 提出了改进屏蔽罩结构以提高对流换热效率的优化设计措施。仿真结果表明此方法具有可行性, 对光模块产品的结构设计与优化具有实际意义。
光模块 热分布 有限元仿真 红外测温 optical module heat distribution finite element simulation infrared temperature measurement
1 中国科学院 上海光学精密机械研究所,中国科学院强激光材料重点实验室,上海 201800
2 中国科学院 研究生院,北京 100049
膜厚均匀性是评价光学薄膜的重要标准之一。膜厚均匀性不好,膜系特性就会遭到严重破坏。作为用于光学薄膜的主要低折射率材料,SiO2导热性很弱,且以升华的方式进行蒸发,具有特殊的蒸发特性,导致在利用电子束加热蒸发方式镀膜的过程中,膜厚分布会发生明显变化,从而严重影响薄膜质量。为了分析SiO2材料蒸发特性对膜厚均匀性的影响,对电子束焦斑热量分布进行了计算模拟,据此得到蒸发质量的分布。根据蒸发质量分布和蒸发源表面各点蒸发角的变化,计算了蒸发源在空间球面和空间平面上的分布。根据分析结果,总结了SiO2材料蒸发特性对膜厚均匀性产生影响的原因及膜厚分布的特点,为调整和改进SiO2材料镀膜工艺提供参考。
薄膜 光学薄膜制备 SiO2材料 热量分布 蒸发特性
