针对内线转移CCD金属铝遮光技术存在的漏光问题, 对比了不同难熔金属材料的遮光性能, 选择漏光率较低的氮化钛金属作为新型遮光层材料。研究了不同气体配比、不同射频功率和腔体压力对氮化钛刻蚀选择比、条宽控制等参数的影响。通过优化工艺参数, 获得了适合于刻蚀氮化钛遮光层的工艺条件。
氮化钛 遮光层 刻蚀 选择比 TiN light-shield etching selectivity
1 中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系,安徽 合肥 230026
2 中国科学院 安徽光学精密机械研究所 环境光学与技术重点实验室,安徽 合肥 230031
考虑杂散光对星载大气痕量气体差分吸收光谱仪测量精度的影响,设计了遮光罩和其他消杂光结构来抑制杂散光,并对杂散光进行了分析。利用TracePro软件分析了系统紫外通道1(240~315 nm)的杂散光水平,确定了杂散光传输的一次、二次散射路径。根据杂散光传输路径,计算了杂散光评价指标点源透射比(PST)曲线,结果显示杂散光抑制措施效果明显,PST小于3×10-5,中心视场杂散光照度水平为5.472×10-4,最终杂散光水平达到了设计指标要求。采用截止滤光片法测量了系统的杂散光水平,结果表明:中心视场杂散光比值为8.167×10-4,和仿真结果接近,验证了仿真过程的准确性,说明设计的消杂光机构能够满足抑制系统杂散光的要求。
星载光谱仪 差分吸收光谱仪 大气痕量气体监测 杂散光 点源透射比 散射路径 遮光罩 space-borne spectrometer differential optical absorption spectrometer atmospheric trace gas monitoring stray light Point Source Transmittance(PST) scattering path light shield 光学 精密工程
2012, 20(11): 2331