考虑杂散光对星载大气痕量气体差分吸收光谱仪测量精度的影响，设计了遮光罩和其他消杂光结构来抑制杂散光，并对杂散光进行了分析。利用TracePro软件分析了系统紫外通道1(240~315 nm)的杂散光水平，确定了杂散光传输的一次、二次散射路径。根据杂散光传输路径，计算了杂散光评价指标点源透射比(PST)曲线，结果显示杂散光抑制措施效果明显，PST小于3×10-5，中心视场杂散光照度水平为5.472×10-4，最终杂散光水平达到了设计指标要求。采用截止滤光片法测量了系统的杂散光水平，结果表明：中心视场杂散光比值为8.167×10-4，和仿真结果接近，验证了仿真过程的准确性，说明设计的消杂光机构能够满足抑制系统杂散光的要求。

以点源透过率(PST)为评价标准，对一个离轴三反空间望远系统的杂散光进行了分析，并给出了分析结果。通过建立系统的实体模型，确定了一次、二次散射路径，采用改进的蒙特卡洛法，对20°之间各离轴角分别进行光线追迹。对模型的分析结果表明，系统产生杂散光的主要原因为一次散射，与光学系统结构密切相关。离轴角为±0.1°时，PST分别等于3.56和4.02，离轴角为±20°时，PST分别为6.63×10-5和4.58×10－5。实验表明，通过加入遮光罩及减小镜面散射率可减少杂散光。与离轴两反望远系统相比，三反系统的杂散光水平在大离轴角时偏大1到2个数量级，但可满足使用要求。