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相同关键词【master tooling】论文列表

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薄膜

可见与近红外宽带减反膜的研制

付秀华 ^*孙英杰刘冬梅张静林晶

作者单位

摘要

长春理工大学光电工程学院, 吉林长春 130022

为满足现代军用综合性光学仪器一机多用的要求，研制了500～1200 nm波段宽带减反膜。采用混合H4、SiO2和MgF2三种材料制备宽带减反膜。通过实验分析了误差产生的原因，并借助膜系设计软件，对结果采用变尺度法进行模拟优化，最后在制备过程中通过改变每层的修正系数，解决了厚度误差对光谱特性的影响，最终用国产真空镀膜机制备了超宽带减反膜，在500～1200 nm波段反射率平均小于0.5%。

薄膜宽带减反膜光学常数修正系数

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光学学报

2013, 33(3): 0331002