西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室, 陕西 西安 710021
为实现光学元件表面疵病的三维全场测量,提出了一种数字全息显微扫描成像的检测方法。该方法基于数字全息角谱数值重建算法,获得光学元件表面划痕的相位分布,通过扫描拼接实现划痕的全场测量;然后,在数字全息显微实验装置的基础上增加二维精密扫描部件,对于宽50 μm、深50 nm标准划痕,测得其宽度为49.2 μm、深度为48.9 nm,同时拼接获得该划痕的全场三维形貌。实验表明:该检测方法可实现大视场划痕缺陷的全场三维测试,其宽度和深度测量的相对误差分别为1.6%和2.2%。
全息 划痕检测 数字全息 扫描拼接 全场测试
华信邮电咨询设计研究院有限公司, 浙江 杭州 310014
在较大孔径放大系数(＞4)的情况下, 结合实验结果, 从拼接模式、被测面形、测量误差和不同孔径放大系数的角度出发, 分析了各种因素对目标函数拼接技术精度的影响, 为高精度检测和控制大口径光学元件表面面形(波前)提供了依据。
波面恢复 子孔径 多孔径扫描技术 目标函数 wavefront restoration subaperture multi-aperture overlap-scanning technique target function
从理论上提出了圆柱坐标下多孔径扫描拼接技术的迭代方法, 并通过计算机模拟验证了其收敛性及精确性, 证明这种算法对解决360°面形测量问题具有重要的意义。
多孔径扫描拼接技术 迭代法 360°面形测量
1 上海大学精密机械工程系, 上海 201800
2 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
直角坐标下的拼接方法在测量三维物体特别是回转物体时碰到了困难。 把拼接方法推广到圆柱坐标可以解决这一难题。 推导了圆柱坐标下的拼接公式, 给出了计算机模拟和测量的结果, 其理论拼接误差为10-7 mm数量级, 验证了这种方法的正确性。 最后给出了实际测量结果。
面形测量 多孔径 拼接 坐标变换
上海科技大学应用光学与检测实验室, 上海 201800
多孔径扫描波面恢复技术是一项新的高精度大孔径面形检测手段.本文从建立波面恢复精度的评价标准出发,结合实测结果进行讨论,并对影响精度的两个重要因素即拼接模式及拼接区大小进行分析.
多孔径扫描 波面恢复 大孔径面形检测
