作者单位
摘要
1 大连理工大学 精密特种加工教育部重点实验室,辽宁大连6024
2 大连理工大学 微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,辽宁大连11604
为解决1级齿轮渐开线样板的精密测量难题,提出了一种基于双滚轮-导轨式渐开线测量仪的空间几何误差补偿新方法。首先,建立了空间几何误差与渐开线齿廓偏差之间映射关系的数学模型;然后,基于该模型对齿轮渐开线样板、基圆盘与芯轴的综合安装误差和基圆盘的圆度误差进行了具体分析;最后,通过改变渐开线展开长度对应的基圆盘使用圆弧段、综合安装偏心量及相位等参数,实测了齿轮渐开线样板的齿廓偏差,并得出以下结论:基圆盘的圆度误差引起的齿廓偏差实测值与理论值之差不大于0.04 μm;以偏心量e为3.46 μm为例,纯滚动组件按照最大齿廓倾斜偏差相位(λ1=λ2=λ3=70°)装配时,齿廓倾斜偏差f的实测值与理论值相差-0.16 μm,相对误差约为4%;按照最大齿廓形状偏差相位(λ1=λ2=λ3=160°)装配时,齿廓形状偏差f的实测值与理论值相差0.01 μm,相对误差约为2%。实验结果证明了空间几何误差补偿方法的有效性,该补偿方法为实现1级齿轮渐开线样板的制造提供了测量手段。
空间几何误差 齿廓偏差 齿轮渐开线样板 误差补偿 渐开线测量 spatial geometric error tooth profile deviation gear involute artefact error compensation measurement of the involute 
光学 精密工程
2022, 30(6): 689
作者单位
摘要
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 101408
3 北京航空航天大学, 北京 100191
针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响, 提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理, 分析了零点误差和积分累计误差对测量镜面形误差检测的影响并提出了改进方法。利用三路激光干涉仪组成两组不等跨度的检测机构, 得到两组工作台测量镜面形的原始数据, 通过这两组数据之间的关系修正跨度间的面形细节误差, 得到了精确的测量镜面形误差量。对此方法进行了理论推导、仿真计算和实验验证, 并将结果与Zygo干涉仪测量得到的离线检测结果进行了对比, 结果显示其差异在±10 nm之间, 且趋势有较好的一致性。 得到的结果验证了提出的方法可正确测量和真实地还原测量镜的面形误差。
激光干涉仪 纳米二维工作台 测量镜 面形误差 在线检测 laser interferometer nano-2D stage stage mirror profile deviation online detection 
光学 精密工程
2016, 24(9): 2134
作者单位
摘要
北京工业大学 北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心,北京 100124
基于圆柱坐标系测量原理,采用电子展成法研制了一台环面蜗轮滚刀测量机用于环面蜗轮滚刀的快速测量。该测量机通过对3个运动轴的闭环控制,使测头沿着被测误差项的路径运动来获取数据并完成测量。介绍了测量机的工作原理与构成,其为卧式结构,由花岗石床身、精密密珠主轴、滑动导轨和闭环控制系统构成。开发了环面蜗轮滚刀测量软件,实现了环面滚刀各项误差的快速精密测量。实验显示: 该仪器可以对切削刃螺旋线误差、刃口齿形误差和容屑槽周节误差进行测量,测量的合成不确定度分别为2.35、2.45和2.94 μm,均小于圆柱齿轮滚刀标准GB/T6084-2001中对应误差项公差的1/3,满足AA级精度的环面滚刀各项误差的测量要求,验证了该测量机的功能与可靠性。该测量机也可以用于环面蜗杆、圆柱蜗杆及圆柱滚刀的测量。
环面蜗轮滚刀 滚刀测量 螺旋线误差 齿形误差 周节误差 hourglass hob hob measurement helix deviation tooth profile deviation circular pitch deviation 
光学 精密工程
2015, 23(10): 2827
作者单位
摘要
1 大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁 大连 116023
2 大连理工大学 微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,辽宁 大连 116023
为了减小齿轮磨削加工中的磨床系统分度误差,提高齿轮加工精度,分析了齿轮磨床分度误差、齿轮安装偏心和齿轮齿距偏差之间的关系,获得了分度误差的计算方法,并计算出了齿轮磨床的分度误差。依据计算得到的分度误差值调整磨床,降低磨床分度误差,减小齿轮齿距累积偏差,提高了齿轮加工精度。以Y7125大平面砂轮磨齿机床为例验证了提出方法的可行性。建立了齿轮安装偏心和齿廓偏差的数学模型,求出了齿轮安装偏心的幅值和相位角,然后由齿轮安装偏心、磨床分度误差和齿轮齿距偏差的关系得到磨床的分度误差值。根据计算得到的分度误差值调整磨床分度盘,使磨床的分度误差从17.7 μm减少为3.3 μm,被加工齿轮的齿距累积总偏差由46.9 μm降低到11.5 μm,齿距精度达到三级。验证结果表明,按照这种方法调整磨床可以快速有效地降低磨床的系统分度误差,从而降低齿轮的齿距累积偏差。
磨床 齿轮磨削 齿距偏差 齿廓偏差 安装偏心 分度误差 grinding machine gear grinding pitch error profile deviation eccentricity installation dividing error 
光学 精密工程
2012, 20(8): 1796

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!