该文采用多物理场耦合的有限元模型, 探究了保护层Al2O3厚度对以LGS为压电基底、Pt为电极的声表面波(SAW)高温传感器中声波特性及器件性能的影响。结果表明, 随着Al2O3保护层厚度的增加, 声表面波在L波方向的振动位移增加, 在SH波和SV波方向的振动位移减弱, 当保护层归一化厚度为6.25%时, 其能量向衬底内部扩散; 当保护层归一化厚度为18.75%时, Rayleigh波消失, 此时为体波BAW模式; 增加Al2O3保护层, 波速v、机电耦合系数K2显著升高; 一阶频率温度系数τf, 1和转换温度随保护层厚度的增加而升高。利用Al2O3薄膜对SAW温度传感器进行结构优化, 为了获得良好的综合性能, 归一化厚度应该在0.94%附近。

由于Al膜的保护层MgF2薄膜的光学常数对Al/MgF2高反射镜的性能有极大的影响， 本文研究了获取MgF2薄膜光学常数的方法。用热舟蒸发的方法在室温B270基底上镀制了3块不同MgF2厚度的Al/MgF2反射镜样品，通过掠入射X射线小角反射方法表征样品，获得了膜层厚度和粗糙度。在国家同步辐射实验中心计量站测试了入射角为5°时，样品在105~130 nm波段的反射率。在Al、MgF2膜层的厚度和Al的光学常数已知条件下，依据菲涅尔公式，得出了满足某波长处样品反射率的等值曲线，然后从三条曲线的交点得出了MgF2薄膜在108~128 nm波段的光学常数。对比和分析显示: 利用此方法得到的108~128 nm波段MgF2薄膜光学常数计算的反射率曲线和实际测试得到的反射率曲线吻合较好。

为提高离子束溅射制备 1 064 nm、532 nm双波长增透膜抗激光损伤阈值, 分别在靠近基板、空气侧加镀一定厚度二氧化硅膜层, 研究缓冲层、保护层对增透膜抗激光损伤阈值的影响。依据 ISO21254-2损伤测试标准, 测试不同膜系结构增透膜抗 1 064 nm波长激光损伤阈值。实验结果表明, 二氧化硅缓冲层提高增透膜抗激光损伤阈值约 65.4%；二氧化硅保护层提高增透膜抗激光损伤阈值约 66.7%；同时加镀缓冲层、保护层增透膜抗激光损伤阈值显著提高约 119%。

以自上向下热蒸发大型镀膜机为实验平台，开展了逆向蒸发制备大口径银反射镜研究.通过设计特殊蒸发舟及优化相关工艺参数，实现了金属银膜稳定、高速向下蒸发.根据逆向热蒸发工艺特点，选取熔点低、升华型材料Cr和SiO及特殊设计的蒸发舟，以Cr或CrNx为粘结层，SiOx或SiOxNy为保护层，制备了三种具有四层结构的介质保护性银反射膜，并对所制备反射镜样品的反射率、断面形貌和环境稳定性进行了表征.实验结果表明：膜系结构为3 nmCr/120 nmAg/0.6 nmCrNx/150 nmSiOxNy的银反射膜具有较好的环境稳定性和光谱特性;通过了24小时湿热实验（50℃/相对湿度98%）和盐雾实验，在400～1 800 nm波段光谱范围内，银反射膜的平均反射率达到97.8%.

用电子束蒸发法在熔融石英基底上沉积了适用于248 nm的HfO2/SiO2高反膜, 为提高其抗激光损伤能力, 设计并制备了两种保护层, 一种是在常规高反膜系的基础上镀制二分之一波长厚度的SiO2保护层, 另一种是用Al2O3/MgF2做保护层。测试了3种高反膜样品的激光损伤情况, 通过损伤形貌的变化分析了两种保护层使抗激光损伤能力提高的原因以及存在的问题。

利用国内首个自上向下热蒸发反射膜的大型镀膜机ZZS3200，开展了2.4 m望远镜铝反射镜镀介质保护膜的研究。根据2.4 m望远镜主镜面型，结合ZZS3200型镀膜机真空室空间几何配置，分析了介质保护膜膜厚均匀性，设计了一款自上向下热蒸发保护膜材料的蒸发舟，开展了铝反射镜的介质保护膜工艺研究。结果表明：蒸发舟蒸发特性接近1， 2.4 m主镜介质保护膜膜厚不均匀性小于13.6%。脱膜清洗效果表明，相比于SiO2保护膜，MgF2保护膜更容易清洗，可减少脱膜对镜面造成的腐蚀，并有更高的反射率, 更适合于2.4 m望远镜主镜。完成2.4 m望远镜主镜镀铝加MgF2保护膜，陪镀片在350～1100 nm波段范围内，平均反射率为87.16％，实测2.4 m望远镜极限星等不低于23.5等。

保护膜的外逸电子发射有利于缩短PDP响应时间并使放电稳定进行,但同时也会带来壁电荷的损失。文章评述了保护膜的外逸电子发射特性致使壁电荷损失的因素,并讨论了目前为改善壁电荷损失采用的方法,为合理利用保护膜的外逸电子发射特性提供了良好的研究基础。