作者单位
摘要
1 石家庄铁道大学机械工程学院,河北省工程机械动力与传动控制重点实验室,河北 石家庄 050043
2 中国电子科技集团公司信息科学研究院,北京 100041
3 天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息科学与技术教育部重点实验室,天津 300072
针对传统光栅耦合器在耦合过程中需要入射光倾斜一定角度且耦合效率低的缺点,提出了一种双层Si3N4减反射垂直光栅耦合器结构。基于时域有限差分法,对双层Si3N4薄膜结构的上、下层Si3N4厚度,下层Si3N4与光栅的距离及上、下层Si3N4之间的高度进行了详细讨论。分析结果表明,对于双层Si3N4减反射垂直光栅耦合器结构,横电波(TE)模式下在1550 nm波长处可以获得超过94%(-0.26 dB)的垂直耦合效率,3 dB带宽为107 nm(1485~1592 nm),具有良好的低损耗特性和带宽特性。同时,在现有加工工艺基础上,对该器件进行了容差分析。分析得知,当光纤光栅对准容差在-1.92~1.92 μm范围内、对准角度容差在-1.8°~1.8°范围内时,双层Si3N4减反射垂直光栅耦合器可以获得超过80%的耦合效率。
垂直光栅耦合器 Si3N4薄膜 减反射 耦合效率 
光学学报
2024, 44(2): 0222003
钟楚怡 1,2欧阳名钊 1,2,*周岩 3任航 1,2[ ... ]吴锦双 1,2
作者单位
摘要
1 长春理工大学光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室,吉林 长春 130022
2 长春理工大学光电工程学院,吉林 长春 130022
3 天津津航技术物理研究所,天津 300309
减反射微纳结构表面具有宽光谱、宽角度抗反射的优异光学性能,在光电池、光探测领域有广阔的应用前景。但微纳结构表面的周期结构单元微小,容易受到外界环境影响而损伤。为增强微纳结构表面微纳结构单元的机械稳定性,提出并制备了复合网栅减反射微纳结构表面,在硅基底上构建氧化硅复合网栅结构,实现了对内部微纳结构单元的保护作用。经过光学反射率测试,所制备的复合网栅微纳结构表面在3~5 μm宽谱段、0°~40°宽角度内的平均反射率小于4%。此外,利用胶带剥离法测试网栅结构对微纳结构的保护作用,实验结果表明,带有网栅结构的微纳结构形貌并未产生损伤且减反射性能保持良好,最终证明设计的网栅结构具有力学保护性能。该研究将有助于推动微纳结构表面在高精度光学探测领域内的应用。
减反射微纳结构 复合网栅结构 光学性能 力学保护 
光学学报
2023, 43(16): 1623024
王宇 1雷洪 1,*李晓红 2,**
作者单位
摘要
1 西南科技大学材料与化学学院,四川 绵阳 621010
2 西南科技大学数理学院,四川 绵阳 621010
结合当前塑料基材表面构建减反射结构的现状和趋势,使用COMSOL Multiphysics软件在可见光谱范围内研究了中空二氧化硅粒子(HSP)和HSP-实心二氧化硅粒子混合对所构成的减反射表面的光学性能的影响。具体考察的因素包括:HSP的尺寸、空心度、粒子间距、树脂覆盖高度、入射角和排布方式等几何参数。结果表明,当采用半径为100 nm的HSP,且树脂覆盖粒子一半高度时,在六方格子排布的HSP间隙掺入小尺寸实心二氧化硅粒子,可在整个可见光谱范围内获得较低的反射率,涂层的平均反射率可低至0.24%。
薄膜 中空二氧化硅 涂层 减反射 COMSOL Multiphysics软件 
光学学报
2023, 43(9): 0931004
张伟丽 1,2,*史肖阳 1,2洪瑞金 1陈兴凤 1,2[ ... ]易葵 2
作者单位
摘要
1 上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海 200093
2 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室,上海 201800
高透过率的窗口材料是光电系统高精度和稳定性的重要保障。金刚石材料集优良的光学特性以及高热导率、低热膨胀系数等特性于一身,是性能优异的宽波段窗口材料。但金刚石在可见光及红外波段的高折射率限制了它的进一步应用,构筑减反射微纳结构抑制金刚石表面反射损耗是较为有效的方法之一。本文综述了近年来金刚石减反射微纳结构的研究进展,着重介绍了微纳结构的减反射机理以及激光加工和离子刻蚀两类加工方式的基本原理及工艺条件,总结了两种方式制备的表面微纳结构对金刚石透过率的影响,对比了各类制备技术的优缺点,并简单介绍了金刚石的应用前景,旨在为相关领域的研究人员提供技术参考。
表面光学 金刚石 微纳结构 减反射机理 激光加工 离子刻蚀 应用前景 
中国激光
2023, 50(8): 0802402
作者单位
摘要
东华大学检测实验室, 先进玻璃制造技术教育部工程研究中心, 上海 201620
根据GB/T 39552.2-2020 《太阳镜和太阳镜片 第2部分: 试验方法》中6.8条款, 利用不同的测试方法和波长间隔, 对市场上同一种类减反射膜层的太阳镜片样品进行减反射项目的测试, 并对测试结果进行分析。测试结果表明: 测试太阳镜片的双面减反射项目, 分光光度计和光纤光谱仪可以等效替代; 测试太阳镜片的单面减反射项目, 如使用分光光度计, 镜片的外表面需要先做消光(涂黑)处理, 再进行测试, 如使用光纤光谱仪, 则可以直接对镜片进行测试。
太阳镜片 减反射 测试 sunglare filters anti-reflective coatings testing 
玻璃搪瓷与眼镜
2023, 51(1): 29
作者单位
摘要
华东理工大学 材料科学与工程学院, 上海 200237
用溶胶-凝胶法制备了含有四种不同模板剂的镀液, 通过浸渍镀膜法在玻璃上制膜, 并采用不同热处理工艺制得镀膜玻璃。对各种玻璃进行光透过率比较, 发现用P65模板剂的镀膜玻璃光透过率最高, 在400~800 nm 光波长范围内平均光透过率最大; 玻璃基片最合适的提拉速度是40 mm/min, 最佳的热处理温度和时间分别为500 ℃和10 min。由原子力显微镜(AFM)观察发现, 优化条件下所制的膜层平整, 采用百格法测得玻璃镀膜层具有较好的硬度。
减反射 玻璃 模板剂 工艺条件 光透过率 anti-reflection glass template agent process conditions light transmittance 
玻璃搪瓷与眼镜
2023, 51(1): 1
作者单位
摘要
1 厦门大学航空航天学院,福建 厦门 361005
2 厦门大学深圳研究院,广东 深圳 518000
3 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室,甘肃 兰州 730000
在宽波段内减少反射以提高透射或吸收对于提高光学元件及光电子器件的性能至关重要。受自然启发,亚波长结构具有良好的宽带减反射性能。基于此,提出了一种新型的类锥亚波长结构以增强宽波段减反射。采用等效介质理论与时域有限差分法,对基底表面亚波长结构的等效折射率与减反射能力的关系进行了分析。通过对比蛾眼、圆锥及圆柱等不同结构的等效折射率对应的宽波段减反射性能,发现两种介质之间的等效折射率线性过渡无突变时减反射能力更优。以此提出了一种类锥结构设计方法,将该方法设计的三种结构与蛾眼结构在300~1100 nm波段进行了垂直入射下的表面反射率仿真分析,结果显示,该系列结构的平均反射率比蛾眼结构降低了约70%。此外,在可见光、近红外波段选取两个特征波长进行了宽角度(0~60°)下的反射率研究,结果表明,该系列结构的宽角度平均反射率均低于蛾眼结构,其中四棱类锥结构在两个特征波长下的平均反射率比蛾眼结构分别降低了62%和40%。采用此方法设计的系列结构比普通亚波长结构具有更佳的减反射效果,在超精密光学芯片、片上光集成、片上光互连等领域中具有潜在的应用前景。
光学设计 减反射 亚波长结构 等效折射率 时域有限差分法 
中国激光
2023, 50(5): 0513001
李子杨 1,2刘华松 1,2孙鹏 1,2杨霄 1,2[ ... ]苏建忠 1,2
作者单位
摘要
1 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室,天津 300308
2 王之江激光创新中心,天津 300308
在氟化钡光学元件上设计并制备多谱段减反射薄膜是提升光电系统探测性能的关键。在氟化钡基底上设计并制备了1064 nm激光/长波红外双谱段减反射薄膜。基于周期对称结构膜系导纳计算方法,以及拟合膜层周期数与参考波长的优化算法,开展了复合谱段减反射薄膜初始膜系的设计方法研究。使用热蒸发离子束辅助沉积方法制备了多层减反射薄膜。测试结果表明,该薄膜在1064 nm处透射率为94.0%,在8~12 μm长波红外谱段平均透射率为96.3%,在8.2 μm处的透射率高达99.4%。该激光/长波红外双谱段减反射薄膜具有良好的光学性能,可以应用于多模复合精确探测光电装备之中,对于提升探测系统的工作性能具有重大意义。
光学薄膜 双谱段减反射 膜系设计 热蒸发离子束辅助沉积 optical thin-film dual-band antireflection thin-film thin-film design thermal evaporation ion-assisted deposition 
红外与激光工程
2022, 51(3): 20210944
作者单位
摘要
1 长春理工大学光电工程学院,吉林 长春 130022
2 光驰科技(上海)有限公司,上海 200444
为了提高电子产品显示屏幕的耐用性,研制了可见光波段的硬质减反射薄膜。使用新材料SiAlON代替常用低折射率材料SiO2,依据Clausius-Mossotti方程式对其等效介电常数进行了理论计算,并进行了实验验证。经测试,基于SiAlON与Si3N4制备的硬质减反射薄膜的平均硬度达到1773.9 HV,可见光波段的平均反射率为0.489%。所提方法在保证薄膜减反射效果的同时提升了薄膜硬度,所研制的薄膜对电子产品的显示屏起到了更好的保护作用。研究结果对在低反射和高硬度方面具有较高要求的光学组件具有重要意义。
薄膜 光学薄膜 减反射 SiAlON 硬度 
中国激光
2022, 49(6): 0603002
兰俊 1,2陈劲松 1,2肖志刚 3赵立新 1,2[ ... ]杨勇 1,2,*
作者单位
摘要
1 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 四川 成都 610209
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 乐山师范学院, 四川 乐山 614000
基于传统抛物面蛾眼结构(PSMS)的优良减反性能,设计出一种具有抛物线中心截面的新型苞状蛾眼结构(BSMS)。采用时域有限差分法(FDTD),通过对比PSMS在不同底面直径和高度下的平均反射率,确定了最佳底面直径为200 nm;在此基础上分析了PSMS、BSMS及圆锥形蛾眼结构(CSMS)在不同高度下的反射率大小和截面电场强度分布,并通过等效介质理论对BSMS的减反性能进行进一步理论分析。结果表明:在300~1200 nm波段和300~1000 nm高度范围内,BSMS的平均反射率均低于PSMS及CSMS;当底面直径为200 nm、高度为800 nm时,BSMS的平均反射率低至0.19%,减反效果约为PSMS的3.5倍,约为CSMS的3.8倍,具有优异且平稳的抗反射性能,为减反结构的进一步设计和优化提供了参考。
材料 苞状蛾眼结构 时域有限差分法 减反射 太阳能电池 
光学学报
2021, 41(14): 1416001

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