作者单位
摘要
1 上海大学理学院, 上海 200000
2 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室, 上海 200000
为实现调谐范围宽、调谐速度快、带宽窄、驱动电压低以及可批量化生产的可调光学滤波器, 提出了一种新型微机电系统(MEMS)可调光学滤波器。由高反射率可动光学镜面与准直扩束光纤端面组成法布里-珀罗(F-P)腔。通过静电驱动改变F-P腔的腔长以调整滤波器的输出光波长, 分析了可调光学滤波器的波长调谐原理和静电驱动原理, 给出了器件的结构参数和综合设计考虑。利用体硅加工工艺成功制作了可调光学滤波器样品, 并进行了实验测试。实验结果表明, 通过改变准直扩束光纤的初始位置, 3 dB带宽与自由谱域之间具有可调性。该可调光学滤波器兼备了MEMS技术与光纤技术的优点, 并且结构紧凑、工艺简单、驱动电压低, 可用于光通信等场合。
光纤光学 微机电系统 法布里-珀罗腔 可调光滤波器 静电驱动 
中国激光
2017, 44(6): 0604007
作者单位
摘要
上海交通大学 电子工程系 区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室, 上海200240
文章提出了一种基于多级级联延迟干涉结构的可重构光学滤波器, 可实现滤波带宽的调节。该级联干涉结构可重构为两类滤波器: 一类为单次延迟干涉器, 通过增加延迟量可实现滤波周期和带宽的调节; 另一类是多次延迟干涉器, 通过改变级联级数和光开关的分光比可实现固定滤波周期的带宽调节。采用传输矩阵方法建立了该延迟干涉滤波器的理论模型并进行了模拟仿真。二次和三次延迟干涉器测试结果表明, 阻带滤波带宽变化大于1/3个滤波周期。
光学器件 集成光子器件 可调光滤波器 optical device integrated phonic (optics) device tunable optical filter 
光通信研究
2015, 41(6): 16
作者单位
摘要
大连理工大学物理与光电工程学院光子技术研究中心, 辽宁 大连 116024
提出了一种基于Sagnac环干涉结构的光梳状滤波器。该结构利用保偏光纤双折射效应产生梳状滤波响应,通过控制Sagnac环内相位调制器的驱动信号实现光学滤波器陷波深度与滤波波长的独立调谐。利用Jones矩阵对所提出的Sagnac环光滤波器的滤波响应函数进行研究,通过分析得到光滤波器的陷波深度和滤波波长分别与射频信号和直流偏压之间的关系。在此基础上构建实验链路,验证了系统的理论分析,实现了光滤波器陷波深度在0 dB~30 dB范围内的灵活控制;通过设置直流偏压在0~12 V范围内变化,实现了光滤波器滤波波长在一个自由光谱范围(0.5 nm)内的连续可调,波长调谐效率为0.043 nm/V。
光纤光学 可调光滤波器 Sagnac环形镜 双折射效应 Jones矩阵 
光学学报
2014, 34(3): 0306001
夏源 1,2,3,*谢卉 2,3孙莉萍 2,3胡强高 2,3
作者单位
摘要
1 武汉邮电科学研究院,武汉 430074
2 新一代光纤通信技术和网络国家重点实验室(筹),武汉 430074
3 武汉光迅科技股份有限公司,武汉 430205
为了降低可调光滤波器的带宽,采用双光栅结构和基于微机电系统的反射镜相结合的方法,构建了具有波长连续可调谐的超窄带宽滤波器,并进行了理论分析和实验验证,取得了滤波带宽小于0.4nm的数据。结果表明,双光栅结构的光滤波器具有性能稳定、重复性优良的性能特点,并且很好地满足了带宽需求。这种结构显著降低了可调谐光滤波器的滤波带宽,提高了系统的稳定性。
光学器件 可调光滤波器 双光栅 微机电系统 optical devices tunable optical filter double gratings microelectromechanical systems 
激光技术
2013, 37(4): 493
作者单位
摘要
1 光纤通信技术和网络国家重点实验室,湖北 武汉430074
2 武汉光迅科技股份有限公司,湖北 武汉430074
3 华中科技大学 光电子科学与工程学院,湖北 武汉430074
文章提出了一种以MEMS TOF(微电子机械系统可调光滤波器)和标准具作为波长选择元件,LC(液晶)作为相位补偿元件,平面反射镜提供光反馈的可调外腔半导体激光器结构。实际研制了该结构的激光器样品,实验测得该激光器的输出功率>10 dBm,边模抑制比>50 dB,可调谐范围达到7 nm,线宽约为200 kHz。
微电子机械系统可调光滤波器 可调外腔半导体激光器 标准具 MEMS TOF tunable external cavity laser etalon 
光通信研究
2012, 38(2): 48

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