中国科学技术大学 国家同步辐射实验室, 合肥 230029
介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在(100)硅片上制作母光栅尺, 并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料, 将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明, 该工艺可重复性高, 复制光栅尺的衍射效率高于母光栅尺的90%, 并能承受航空环境－55℃~70℃的高低温冲击.光栅尺的制作准确度满足传感器的要求, 信号响应准确率100%.该方法可对具有准确度高、图形复杂、工作环境恶劣等特点的微纳米结构的制作提供借鉴.
光学位移传感器 编码光栅 复制技术 紫外光刻 全息光刻 光传操纵系统 Opticaldisplacement sensor Encoding grating Replication technique UV lithography Holographic lithography Aircraft control systems
1 南京航空航天大学自动化学院, 江苏 南京 210016
2 南昌航空大学无损检测教育部重点实验室, 江西 南昌 330063
提出一种制作凹形聚二甲基硅氧烷(PDMS)微透镜阵列的方法。用数字微镜器件(DMD)代替物理掩模，建立数字灰阶无掩模光刻系统，在光刻胶上制作正方形基底凸形微透镜阵列，以此阵列为母板，采用复制方法，制作了高填充因子的正方形基底凹形PDMS微透镜阵列。实验和测试结果表明：数字灰阶无掩模光刻系统制作的微透镜阵列表面光滑，形貌良好；复制的PDMS微透镜阵列边缘清晰，表面光滑，焦面光斑光强均匀。为制作凹形微透镜阵列提供了一条制作简单、效率高、成本低、可大规模制作的新途径。
光学器件 微光学元件 凹形微透镜阵列 数字灰阶无掩模光刻 模型复制技术 聚二甲基硅氧烷
同济大学 精密光学工程技术研究所,上海200092
针对碳纤维光学元件复制过程中的纤维印透现象,提出了镍-环氧树脂-镍的缓冲层方法。以单向碳纤维材料为基底,采用传统方法制备了碳纤维-环氧树脂-银膜结构的光学反射镜;采用缓冲层方法,制备了碳纤维-镍-环氧树脂-镍-银膜的光学反射镜。用台阶仪测试了这两种光学元件在垂直纤维方向和沿纤维方向的表面形貌。结果表明,纤维印透现象主要发生在垂直于纤维方向,在小尺度范围内,缓冲层构对纤维印透现象有明显的抑制作用,碳纤维复制表面粗糙度振幅低于50nm;在大范围内复制表面仍存在突变,但好于采用传统方法制备的没有缓冲层的反射镜。
复制技术 碳纤维 纤维印透现象 缓冲层 replication technique CFRP fiber print-through alleviation interlayer
第二炮兵工程学院,物理室,陕西,西安,710025
提出利用复制技术对高通滤波后的功率谱复制多份以获得高效的联合变换相关.平方律探测器CCD将功率谱输入计算机,经相减运算和Butter-worth高通滤波后,将其复制成N份,成阵列形式呈现在空间光调制器上,经光学傅里叶变换得到信号相叠加的高效相关输出.计算机模拟和光学实验结果表明,这种高效相关器能够抑制相关面上的中央零级项,增强、锐化一级相关峰,信噪比提高了4倍多,N份功率谱阵列对应的输出峰值强度约是单份功率谱对应强度的N倍.
联合变换相关器 高通滤波 功率谱阵列 复制技术 相关识别
