作者单位
摘要
四川大学光电科学技术系, 四川 成都 610064
提出一种用于在线三维检测的正交双频光栅。光栅在原单频条纹正交方向引入一高频条纹,用于提取调制度信息,完成检测过程中的像素匹配。解决了测量中像素匹配和相位计算对光栅频率要求不同的问题。同时高频条纹的引入不影响低频条纹求解相位,在相位求解过程中无需滤除高频条纹,避免了频谱滤波对相位精度的影响。模拟和实验均验证了所提方法的有效性。
测量 在线检测 相位测量轮廓术 正交双频光栅 像素匹配 相位计算 
中国激光
2012, 39(5): 0508003

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