TFT-LCD面板生产过程中会出现各种Mura, 尤其是电视大尺寸产品, 对显示均一性要求很高。Mura现象种类多, 原因差异性大, 本文分析的Mura属于电视面板的特殊不良。为解决此黑Mura, 首先进行了实物分析研究, 通过液晶盒特性、表面微观以及电学分析确认实物未见明显异常, 为极微观异常。采用目前实际可操作方法很难进行深入分析, 需依靠工艺验证来明确, 因此通过工艺验证确认到不良为配向膜清洗机相关, 而清洗机独立单元繁多。依据不良可能的原因以及实际生产线的运营状况, 设计了5项相关可行性实验: 清洗速度降低, 清洗后增加静置时间, 紫外光清洗强度提升, 毛刷远离基板以及清洗机高压二流体喷淋压力调整。通过以上工艺验证结果, 推理出不良形成原因为电荷残留, 并提出两个合理可行的改善方向, 首先是减少基板在高压二流体喷淋下的停留, 其次为增加监控或关闭高压二流体喷淋, 使不良从0.94%降低至0.00%, 提升了产品品质。
黑Mura 清洗机 工艺验证 电荷残留 TFT-LCD TFT-LCD black Mura cleaner process verification electrostatic remain
在液晶显示面板行业, 边缘场开关技术在生产过程中易导致Zara不良的高发, 降低产品良率, 导致生产成本增加。Zara不良根据点灯现象可以分为散状Zara、团状Zara、辉点数和未确认面板污渍类4类。经大量取屏分析, 发现Zara不良与摩擦后清洗机的内部洁净度和清洗能力有较大关联。本文从过滤器滤径减小、KOH流程优化、直供水改造、腔室污染降低等方面进行了改善研究, 通过机理分析和大量试验验证, 将Zara不良由0.74%改善至0.24%, 验证了提升摩擦后清洗机洁净度对Zara不良改善有重要作用, 同时也取得了良好的经济效益: 年收益1 338万元。
摩擦后清洗机 直供水 滤径 微生物 洁净度 Zara Zara after-rubbing-cleaner direct water supply cleanliness microorganism cleaning capacity
异物是TFT-LCD制程常见的顽固缺陷, 在高世代线(8.5代线)以摩擦工艺生产mobile产品时不良发生率更高。本文针对8.5代线生产Mobile产品时所产生的异物进行原因及机理分析, 发现该异物来源于摩擦制程, 产生机理为: 摩擦辊在玻璃基板上摩擦时, 布毛容易刮起配向膜而产生细小的PI碎屑。为此本文从摩擦强度、单辊摩擦和光配向工艺进行实验, 实验结果显示: 对于改善细小的PI碎屑最优工艺为光配向, 异物不良由2.34%降至0.41%。在最优的光配向工艺条件下继续优化清洗机条件: 在高压气液混合喷射(HPMJ)的压力8 MPa、清洗机速度6 600 mm/min和风刀喷淋(AK Shower)打开条件下异物不良降至0.16%, 改善效果明显。
异物 Mobile产品 单辊摩擦 光配向 清洗机 particle mobile product single roller friction optical alignment after rubbing cleaner
1 中国科学院安徽光学精密机械研究所, 安徽省光子器件与材料重点实验室, 安徽 合肥 230031
2 中国科学技术大学, 安徽 合肥 230026
为了满足激光清洗中对多波长输出的需求,设计了能在一台激光清洗机中实现4个波长激光交替输出的光路控制系统。 基于BBO晶体的非线性效应,通过主控制器程序对光路中的运动控件进行切换, 实现在同一光路系统中输出4个波长。在激光器输出端用二套振镜系统实现了各个波长激光束的扫描输出,拓展了该激光清洗机的使用范围。实验结果表明设计的光路控制系统稳定可靠,简单易行。
激光技术 激光清洗机 四波长 光路控制 laser techniques laser cleaning machine four-wavelength optical path control
