1 华中科技大学 武汉光电国家实验室, 武汉 430074
2 武汉工程大学 理学院, 武汉 430205
采用正交放置的两路CCD,基于图像采集及处理的方法,建立了极紫外光源锡液滴靶发生装置的锡液滴检测系统,可以实时监测锡液滴的运动状态及稳定性。对本实验室频率为34 kHz的锡靶发生器产生的液滴进行了锡液滴监测实验。监测结果显示,锡液滴直径约为137 μm,平均间距为375 μm,稳定性较好,并对水平面上横向稳定性进行了分析。
极紫外光源 激光等离子体 锡液滴靶 稳定性 extreme ultraviolet source laser plasma photosource tin droplet stability 强激光与粒子束
2014, 26(12): 121005
