以Nd·YAG激光器的二倍频输出作为激发源， 获得了激光诱导Ni等离子体的发射光谱， 基于发射光谱， 对等离子体电子激发温度和电子密度进行了测量， 其典型值分别为3 714 K， 4.67×1016 cm-3。 测量了等离子体电子激发温度和电子密度的空间分布， 发现沿垂直于激光传播方向的径向， 随到中心点距离的增加， 等离子体辐射的强度减小， 但线型和线宽不变， 表明等离子体电子激发温度和电子密度沿径向均匀分布。 沿激光传播方向， 随到样品表面距离的增加， 等离子体辐射强度、 电子激发温度和电子密度先增加后降低， 在距样品表面1.5 mm处， 达到最大值。 采用激光诱导击穿光谱技术进行相关探测时， 收集距离样品表面1.5 mm处的发射谱， 有利于提高探测灵敏度。

研究了利用常规电火花线切割技术加工薄镍板微小结构的方法。利用慢走丝电火花线切割加工机床对厚度为0.6 mm镍板上的Meso尺度结构进行了加工试验。以机床现有的工艺条件对零件进行试切割, 对试切割后的尺寸精度和表面质量进行测量分析, 在此基础上通过对放电能量、冲液压力、切割速度等机床参数的调整改进加工工艺。探讨了在200 μm缝宽范围内进行多次切割的方法, 并对切割次数进行合理优化、合并。试验结果表明：慢走丝线切割加工对小于机床设定厚度的薄板Meso尺度结构仍可进行稳定加工; 通过多次切割的方法可提高表面质量。在200 μm窄缝范围内进行5次常规切割, 加工后的表面粗糙度值Ra为0.54 μm; 在保证表面质量的前提下, 将5次切割合并为3次切割, 加工后的表面粗糙度值Ra为0.62 μm, 加工时间缩短了30%左右。该技术可为电火花线切割加工其他材料薄板微小零件提供支持与参考。