支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响

王平; 田伟; 王汝冬; 王立朋

doi:doi:10.3788/co.20130601.0057

中国光学, 2013, 6 (1): 57, 网络出版: 2013-02-06

支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响

Influence of mounting stress on wavefront distortion of lithographic object lens

王平 ^*田伟王汝冬王立朋

作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春 130033

引用该论文

王平, 田伟, 王汝冬, 王立朋. 支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响[J]. 中国光学, 2013, 6(1): 57.

WANG Ping, TIAN Wei, WANG Ru-dong, WANG Li-peng. Influence of mounting stress on wavefront distortion of lithographic object lens[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 57.

引用列表

1、激光回馈双折射测量系统稳频技术研究红外与激光工程, 2018, 47 (12): 1217007

2、点源异位同步移相法检测平行平晶的光学均匀性光子学报, 2018, 47 (1): 112002

3、偏振正交性对偏振相移干涉检测精度的影响光学精密工程, 2013, 21 (12): 3001

王平, 田伟, 王汝冬, 王立朋. 支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响[J]. 中国光学, 2013, 6(1): 57. WANG Ping, TIAN Wei, WANG Ru-dong, WANG Li-peng. Influence of mounting stress on wavefront distortion of lithographic object lens[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 57.

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