中国光学, 2013, 6 (1): 57, 网络出版: 2013-02-06
支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响
Influence of mounting stress on wavefront distortion of lithographic object lens
基本信息
| DOI: | 10.3788/co.20130601.0057 |
| 中图分类号: | TH703;TN305.7 |
| 栏目: | 光学设计 |
| 项目基金: | 国家科技重大专项(02专项)资助项目（No.2009ZX02205） |
| 收稿日期: | 2012-09-13 |
| 修改稿日期: | 2012-11-15 |
| 网络出版日期: | 2013-02-06 |
| 通讯作者: | 王平 (alex.wongp@gmail.com) |
| 备注: | -- |
王平, 田伟, 王汝冬, 王立朋. 支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响[J]. 中国光学, 2013, 6(1): 57. WANG Ping, TIAN Wei, WANG Ru-dong, WANG Li-peng. Influence of mounting stress on wavefront distortion of lithographic object lens[J]. Chinese Optics, 2013, 6(1): 57.
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