光子学报, 2017, 46 (9): 0912008, 网络出版: 2017-10-16
基于Zernike多项式拟合三平面互检的误差分析
Error Margin Analysis of Three-flat Test Based on Zernike Polynomials Fitting
基本信息
| DOI: | 10.3788/gzxb20174609.0912008 |
| 中图分类号: | TH744.3;O436.1 |
| 栏目: | |
| 项目基金: | 科技部国际合作专项 (No.2015DFA10360)资助 |
| 收稿日期: | 2017-03-28 |
| 修改稿日期: | 2017-06-12 |
| 网络出版日期: | 2017-10-16 |
| 通讯作者: | 高飞 (gfgf_861031@163.com) |
| 备注: | -- |
高飞, 李晋惠, 田爱玲, 刘丙才, 李世杰, 岳鑫. 基于Zernike多项式拟合三平面互检的误差分析[J]. 光子学报, 2017, 46(9): 0912008. GAO Fei, LI Jin-hui, TIAN Ai-ling, LIU Bing-cai, LI Shi-jie, YUE Xin. Error Margin Analysis of Three-flat Test Based on Zernike Polynomials Fitting[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2017, 46(9): 0912008.
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