光子学报, 2017, 46 (9): 0912008, 网络出版: 2017-10-16
基于Zernike多项式拟合三平面互检的误差分析
Error Margin Analysis of Three-flat Test Based on Zernike Polynomials Fitting
图 & 表
高飞, 李晋惠, 田爱玲, 刘丙才, 李世杰, 岳鑫. 基于Zernike多项式拟合三平面互检的误差分析[J]. 光子学报, 2017, 46(9): 0912008. GAO Fei, LI Jin-hui, TIAN Ai-ling, LIU Bing-cai, LI Shi-jie, YUE Xin. Error Margin Analysis of Three-flat Test Based on Zernike Polynomials Fitting[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2017, 46(9): 0912008.